| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/341494714 |
| Дата корректировки | 15:15:29 9 марта 2022 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.595:539.216.2 |
| Ковалевский, А. А. | |
|
Особенности самоорганизации высокоупорядоченных нанокластеров германия при осаждении пленок поликристаллического кремния, легированного германием Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр. : 12 назв. |
|
кластеры германия нанокластеры германий осаждение пленок поликристаллического кремния |
|
|
Плякин, Д. В. Строгова, А. С. Борисенко, В. Е. |
|
|
Материалы, технологии, инструменты 2010 Т. 15, № 3 . - С. 20-26 |
|
| Тип документа | b |
