| Маркер записи | n 22 4500 |
| Контрольный номер | BY/FL BSU/Stat/MazanikIN/4497d12062884f0f8e2cb614a56fb2c7 |
| Дата корректировки | 12:16:57 29 апреля 2024 г. |
| Кодируемые данные | 240312s2024||||by |||||||||||||||||rus|| |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Белорусского государственного университета БелАР |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
|
070 Пархоменко, И. Н. кандидат физико-математических наук Ирина Николаевна Белорусский государственный университет |
|
|
Воздействие ультрафиолетового излучения на оптические свойства диэлектриков на основе кремния И. Н. Пархоменко, Л. А. Власукова, А. С. Камышан [и др.] |
|
| Дата издания оригинала | 2024 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | 3 рис. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 62-63 (27 назв.) |
| Аннотация | Для оценки воздействия ультрафиолетовой части солнечного спектра в диапазоне длин волн 185-400 нм на оптические параметры диэлектрических слоев проанализировано изменение спектров отражения тонких (11-25 нм) нестехиометрических пленок нитрида (SiN[x]), оксида (SiO[x]) и оксинитрида (SiO[x]N[y]) кремния. |
|
Химия Физическая химия в целом Физика Физика полупроводников и диэлектриков |
|
| Ключевые слова |
химическая физика диэлектрики ультрафиолетовое излучение нитрид кремния оксид кремния оксинитрид кремния |
|
070 Власукова, Л. А. кандидат физико-математических наук Людмила Александровна Белорусский государственный университет 070 Камышан, А. С. кандидат физико-математических наук Александр Степанович Институт прикладных физических проблем им. А. Н. Севченко БГУ 070 Ковальчук, Н. С. кандидат технических наук Наталья Станиславовна 070 Демидович, С. А. Сергей Александрович |
|
|
BY/FL BSU/Stat/MazanikIN/2e8af63d3e5b4de7942193b937fd3315 Журнал Белорусского государственного университета. Физика 2024 № 1. - С. 57-64 2520-2243 |
|
| RU | |
| 863 | |
|
https://elib.bsu.by/handle/123456789/310023 |
|
| Тип документа | b |
| Физика конденсированного состояния |
