Индекс УДК | 620.1/.2 |
Структурные особенности, механические свойства, износо- и жаростойкость покрытий в системе Mo-Y- Zr-Si-B, полученных на молибдене методом магнетронного напыления в режимах DCMS и HIPIMS Ф. В. Кирюханцев-Корнеев, Ф. И. Чударин, Р. А. Вахрушев [и др.] |
|
Аннотация | Покрытия Mo– (Y, Zr) –Si–B были получены методами магнетронного напыления постоянного тока (DCMS, direct current magnetron sputtering) и высокомощного импульсного магнетронного напыления (HIPIMS, high power impulse magnetron sputtering) с использованием композиционных мишеней MoSi[2] + 10% MoB и (MoSi[2] + 10% MoB) + 20% ZrB[2], с расположенными в их зоне эрозии сегментами Y суммарной площадью 5 и 10 см{2}. Структура и состав покрытий исследовались методами сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии, оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда и рентгенофазового анализа. Были определены твердость, модуль упругости, упругое восстановление, адгезионная прочность, стойкость покрытий к ударным циклическим и абразивным воздействиям. |
Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
Место и дата издания | 2023 |
Прочая информация | Т. 59, № 5. - С. 546-558 |