| Индекс УДК | 543.4/.5 |
|
Метод тонкого слоя для ЛА-МС-ИСП-анализа концентратов примесей Н. С. Медведев, В. Д. Курбатова, А. И. Сапрыкин |
|
| Аннотация | Предложен способ анализа концентратов примесей методом тонкого слоя в сочетании с методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой и лазерной абляцией. Концентраты примесей выпаривали на предварительно подготовленных участках подложки из кремния высокой чистоты, после чего проводили ЛА-МС-ИСП-анализ. Изучено влияние параметров лазерной абляции и условий регистрации спектров на сигнал аналитов и материала подложки. Проведена оценка аналитических возможностей метода тонкого слоя в сочетании с ЛА-МС-ИСП для анализа высокочистых веществ с предварительным концентрированием примесей. |
| Название источника | Журнал аналитической химии |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 78, № 3. - С. 208-215 |
