Поиск

Особенности образования германосиликатных стекол при окислении наноструктурированных пленок поликристаллического кремния, легированного германием

Авторы: Ковалевский, А. А. Строгова, А. С. Плякин, Д. В.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.612
Особенности образования германосиликатных стекол при окислении наноструктурированных пленок поликристаллического кремния, легированного германием
Текст
Неорганические материалы
2009
Т.45, № 5.- С. 632-637