| Индекс УДК | 535.37 |
|
Катодолюминесценция собственных дефектов в пленках La : HfZrO Е. В. Дементьева, М. В. Заморянская, В. А. Гриценко |
|
| Объем | 1 файл (399 Кб) |
| Примечание | Загл. с титул. экрана |
| Аннотация | Нанометровые пленки твердого раствора оксида гафния и циркония, легированные лантаном (La: (HfZr) O[2]), представляют большой интерес для разработки универсальной памяти, сочетающей неограниченное число циклов перепрограммирования оперативной памяти и энергонезависимость флеш-памяти. Настоящая работа посвящена исследованиям катодолюминесцентных свойств тонких пленок La : HfZrO с различным содержанием лантана. Показано, что в спектрах катодолюминесценции доминируют две полосы излучения с максимумами интенсивности 2. 7 и 2. 2 eV. Голубая полоса с энергией 2. 7 eV обусловлена вакансией кислорода в La : HfZrO. Исследование влияния примеси лантана и отжига образцов в аргоне позволяет предположить, что желтая полоса с максимумом излучения 2. 2 eV связана с дивакансией кислорода. |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 130, № 12. - С. 1836-1839 |
|
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=50009751 |
