| Индекс УДК | 535.31 |
|
Гомодинный квадратурный интерферометр перемещений Г. Н. Вишняков, В. Л. Минаев, Е. В. Шумский |
|
| Объем | 1 файл (902 Кб) |
| Примечание | Загл. с титул. экрана |
| Аннотация | Приведены экспериментальные исследования работы макета гомодинного квадратурного интерферометра перемещений. В блоке регистрации гомодинного интерферометра вместо поляризационного светоделителя используются неполяризационный светоделительный кубик и два поляризатора. Это добавило дополнительные степени свободы при юстировке оптических каналов регистрации интерференционных сигналов и позволило достичь необходимый сдвиг фаз между ними 90 градусов с точностью 0. 1. В результате этого экспериментально достигнута погрешность измерения перемещения, равная 0. 2 nm. Получены обобщенные выражения для квадратурных сигналов в случае произвольных азимутов поляризаторов в трех каналах регистрации интерференционных сигналов. Проведена теоретическая оценка точности измерений перемещения с помощью квадратурного гомодинного интерферометра и получено, что расширенная неопределенность таких измерений не превышает величины 0. 3 nm. |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 130, № 7. - С. 1114-1121 |
|
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=49367664 |
