Индекс УДК | 539.2 |
Оптические свойства пленки линейно-цепочечного углерода, нанесенного на стальной образец Л. А. Акашев, А. А. Махнев, В. Д. Кочаков [и др.] |
|
Объем | 1 файл (115 Кб) |
Примечание | Загл. с титул. экрана |
Аннотация | Эллипсометрическим методом Битти получены оптические постоянные пленки линейно-цепочечного углерода (ЛЦУ) в спектральном диапазоне от 248 до 1100 nm (1. 13-5. 0 eV с шагом 0. 1 eV) и определена ее толщина. Пленка ЛЦУ была нанесена на предварительно зеркально полированную поверхность массивного стального образца с использованием технологии импульсной углеродной плазмы с ионным стимулированием. Установлено, что в измеряемом диапазоне спектра показатель преломления пленки изменяется в пределах от 2. 35 до 2. 73, а величина k изменяется от значения, близкого к нулю, до величины 1. 02. Эффективная толщина пленки определена равной d = 92 плюс/минус 2 Angstrem. По типу проводимости ЛЦУ-пленка - диэлектрик (Eg = 4. 1 eV). Предложен упрощенный метод определения ширины запрещенной зоны наноразмерных полупроводниковых и диэлектрических пленок. |
Название источника | Оптика и спектроскопия |
Место и дата издания | 2022 |
Прочая информация | Т. 130, № 5. - С. 787-791 |
https://elibrary.ru/item.asp?id=48663389 |