| Индекс УДК | 544 |
|
Plasma parameters and active species kinetics in Cl[2]+BCl[3]+Ar gas mixture A. M. Efremov, S. A. Smirnov, V. B. Betelin, Kwang-Ho Kwon |
|
| Аннотация | Проведено исследование электрофизических параметров плазмы, стационарного состава газовой фазы и кинетики реактивно-ионного травления SiO[2] в смеси Cl[2] + BCl[3] + Ar в условиях индукционного ВЧ 13, 56 МГц разряда. Схема исследования включала диагностику плазмы зондами Лангмюра и 0-мерное (глобальное) моделирование кинетики плазмохимических процессов. В качестве неизменных параметров выступали: доля аргона в плазмообразующей смеси (20%), общее давление газа (6 мтор) и мощность смещения (300 Вт). |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2022 |
| Прочая информация | Т. 65, вып. 3. - С. 14-21 |
