| Индекс УДК | 539.2 |
|
Влияние протонного облучения на структурно-фазовое состояние наноструктурированных покрытий TiZrSiN и их механические свойства Ф. Ф. Комаров, С. В. Константинов, В. А. Зайков, В. В. Пилько |
|
| Аннотация | Методом реактивного магнетронного распыления сформированы наноструктурированные покрытия TiZrSiN на различных типах подложек в режимах с недостатком и стехиометрической концентрацией азота. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгеноструктурного фазового анализа определено структурно-фазовое состояние исходных покрытий, их толщины, а также морфология. С использованием наноиндентирования по методике Оливера и Фарра, а также трибомеханических испытаний определены твердость, модуль Юнга и коэффициент трения покрытий. Проведено облучение исследуемых покрытий TiZrSiN ионами водорода H{+} с энергией 500 кэВ в диапазоне флюенсов от 1 · 10{16} до 1 · 10{17} ион/см{2} на ускорительном комплексе AN 2500. Установлено, что наноструктурированные покрытия TiZrSiN, нанесенные в режимах недостатка и стехиометрии азота, являются радиационно-стойкими и потенциально перспективными для эксплуатации как защитных на корпусах малых летательных аппаратов на орбите Земли и в условиях открытого космоса. |
| Название источника | Инженерно-физический журнал |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 94, № 6. - С. 1645-1654 |
