Поиск

Низкотемпературный лазерный синтез тонких электрохромных пленок WO[3]

Авторы: Новодворский, О. А. Паршина, Л. С. Храмова, О. Д. Яруков, А. А. Гусев, Д. С. Путилин, Ф. Н.
Подробная информация
Индекс УДК 539.2
Низкотемпературный лазерный синтез тонких электрохромных пленок WO[3]
О. А. Новодворский, Л. С. Паршина, О. Д. Храмова [и др.]
Аннотация Методом импульсного лазерного осаждения из металлических мишеней при комнатной температуре на кварцевых и с-сапфировых подложках получены аморфные диэлектрические пленки WO[3] с шероховатостью поверхности 4-5 нм. Исследованы спектры пропускания пленок WO[3] в диапазоне от 400 до 2000 нм в зависимости от типа подложки и давления кислорода в процессе роста. Установлена зависимость параметров полученных пленок от давления кислорода в процессе роста. Пропускание пленок WO[3] увеличивается от 40 до 75% в видимой и УФ-областях и от 10 до 70% в ИК-области при изменении давления кислорода в процессе роста пленок от 20 до 60 мторр. Ширина запрещенной зоны пленок WO[3] меняется от 3. 01 до 3. 34 эВ в случае сапфировых подложек и от 2. 95 до 3. 42 эВ на кварцевых подложках с увеличением давления кислорода в процессе роста и слабо зависит от типа подложки. Впервые создана тонкопленочная электрохромная ячейка с жидким электролитом на основе полученной при комнатной температуре пленки WO[3]. Пропускание ячейки в диапазоне спектра от 300 до 900 нм уменьшается на 30% при напряжении 2. 5 В за время окрашивания порядка 2 мин.
Название источника Неорганические материалы
Место и дата издания 2020
Прочая информация Т. 56, № 4. - С. 402-407
https://sciencejournals.ru/list-issues/neorgmat/
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=42650792