| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/264848544 |
| Дата корректировки | 19:16:36 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 66.048.3 |
| Воротынцев, В. М. | |
|
Кинетика процесса концентрирования и глубокой очистки дихлорсилана методом периодической ректификации в режиме дискретного отбора Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | Ил.5 |
| Сопроводительные материалы | Табл.2 |
| Библиография | Библиогр.: 14 назв. |
|
концентрирование очистка дихлорсилана ректификация дискретный обтор микроэлектроника |
|
|
Мочалов, Г. М. Колотилова, М. А. Суворов, С. С. Королева, А. В. Шаров, А. Ю. |
|
|
Теоретические основы химической технологии 2008 Т.42, № 2.- С.208-213 |
|
| Тип документа | b |
