Поиск

Кинетика процесса концентрирования и глубокой очистки дихлорсилана методом периодической ректификации в режиме дискретного отбора

Авторы: Воротынцев, В. М. Мочалов, Г. М. Колотилова, М. А. Суворов, С. С. Королева, А. В. Шаров, А. Ю.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/264848544
Дата корректировки 19:16:36 13 октября 2015 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 66.048.3
Воротынцев, В. М.
Кинетика процесса концентрирования и глубокой очистки дихлорсилана методом периодической ректификации в режиме дискретного отбора
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства Ил.5
Сопроводительные материалы Табл.2
Библиография Библиогр.: 14 назв.
концентрирование
очистка дихлорсилана
ректификация
дискретный обтор
микроэлектроника
Мочалов, Г. М.
Колотилова, М. А.
Суворов, С. С.
Королева, А. В.
Шаров, А. Ю.
Теоретические основы химической технологии
2008
Т.42, № 2.- С.208-213
Тип документа b