Индекс УДК | 621.7 |
Влияние длительности импульсов на структуру, механические, триботехнические и оптические характеристики покрытий Zr–B–N, полученных методом PMS Ф. В. Кирюханцев-Корнеев, А. Д. Сытченко, Е. А. Левашов |
|
Аннотация | Исследовано влияние длительности обратного импульса (0. 4, 0. 7 и 1. 1 мкс) при импульсном магнетронном напылении (Pulsed Magnetron Sputtering) на частоте 350 кГц на структуру и свойства оптически-прозрачных покрытий Zr–B–N. Определены химический состав, морфология, оптический коэффициент пропускания, адгезионная прочность, твердость, модуль упругости, упругое восстановление, трещиностойкость, коэффициент трения, износо-, эрозионная и абразивная стойкость покрытий, а также их стойкость к циклическому ударному нагружению. Установлено, что наилучший комплекс характеристик достигается при 0. 7 мкс. |
Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
Место и дата издания | 2021 |
Прочая информация | Т. 57, № 6. - С. 650-659 |