| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/696012850 |
| Дата корректировки | 16:54:10 20 января 2022 г. |
| 10.21883/OS.2019.11.48513.136-19 | |
| Служба первич. каталог. | Феллер |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 535.33 |
| Кручинин, В. Н. | |
|
Оптические свойства нестехиометрического оксида кремния SiO[x] (x < 2) Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 25 назв. |
| Аннотация | Исследованы оптические свойства аморфных нестехиометрических пленок оксида кремния SiO[x] переменного состава (x = 0.62--1.92) в спектральном диапазоне 1.12--4.96 eV, полученных плазмостимулированным химическим осаждением из газовой фазы. Методом спектроэллипсометрии показано, что в зависимости от содержания кислорода в газовой фазе при синтезе образующиеся пленки SiO[x] по характеру дисперсии показателя преломления могут быть условно отнесены к кремнийподобным пленкам, диэлектрикам и пленкам с промежуточным типом проводимости. Предложена модель структуры SiO[x] , расчет которой из первых принципов (ab initio) описывает экспериментальные оптические спектры. Из первых принципов рассчитаны зависимости величины показателя преломления и ширины запрещенной зоны SiO[x] от параметра стехиометрии x. |
|
оксид кремния оптические свойства эллипсометрия моделирование ab initio |
|
|
Перевалов, Т. В. Камаев, Г. Н. Рыхлицкий, С. В. Гриценко, В. А. |
|
|
Оптика и спектроскопия 2019 Т. 127, вып. 5. - С. 769-773 |
|
| Имя макрообъекта | Кручинин_оптические свойства |
| Тип документа | b |
