Поиск

Способ создания просветляющих покрытий для пленок ITO

Авторы: Марков, Л. К. Павлюченко, А. С. Смирнова, И. П.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/695722326
Дата корректировки 8:19:59 17 января 2022 г.
10.21883/FTP.2019.02.47096.8940
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Марков, Л. К.
Способ создания просветляющих покрытий для пленок ITO
Электронный ресурс
Technique of formation of the antireflection coatings based on ITO films
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 34 назв.
Аннотация Рассмотрен способ создания прозрачных проводящих пленок оксида индия и олова для применений, предполагающих большие значения плотностей токов. Такие пленки должны сочетать в себе хорошую поверхностную проводимость с повышенным коэффициентом пропускания излучения в широком диапазоне длин волн. Предлагается двустадийный процесс создания покрытий: на первом этапе формируется плотная пленка оксида индия и олова с хорошей электрической проводимостью, а в дальнейшем наносится дополнительный просветляющий слой этого же материала. Исследовались возможные способы оптимизации свойств таких, дополнительных, пленок оксида индия и олова, полученных путем создания наноструктурированных самоорганизующихся покрытий на поверхности плотных пленок. Показано, что наилучший вывод света в широком диапазоне длин волн обеспечивает метод комбинированного нанесения пленок, заключающийся в создании самоорганизующихся наноструктурированных покрытий методом электронно-лучевого испарения на горячую подложку и дальнейшем заращивании пустот методом магнетронного распыления при комнатной температуре. Поскольку оптические свойства получаемых просветляющих покрытий зависят от соотношения масс вещества, осаждаемых на каждой стадии их нанесения, метод позволяет оптимизировать свойства пленок, исходя из задач, поставленных сферой их применения. Компьютерное моделирование характера распределения материала в структуре исследованных покрытий подтверждает способность метода комбинированного нанесения пленок создавать наиболее плавный характер изменения эффективного показателя преломления в структуре покрытия, приводящий к максимальному выводу света оптического диапазона.
Ключевые слова наноструктурированные покрытия
электронно-лучевое испарение
магнетронное распыление
оксид индия и олова
электрическая проводимость
просветляющие покрытия
Павлюченко, А. С.
Смирнова, И. П.
Физика и техника полупроводников
2019
Т. 53, вып. 2. - С. 181-189
Имя макрообъекта Марков_способ
Тип документа b