Поиск

Исследование возможности изготовления напряженных сверхрешеток InAs/GaSb методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений

Авторы: Левин, Р. В. Лёвин, Р. В. Неведомский, В. Н. Баженов, Н. Л. Зегря, Г. Г. Пушный, Б. В. Мизеров, М. Н.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Исследование возможности изготовления напряженных сверхрешеток InAs/GaSb методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений
Электронный ресурс
Ключевые слова газофазная эпитаксия
Физика и техника полупроводников
2019
Т. 53, вып. 2. - С. 273-276
Имя макрообъекта Левин_исследование