Индекс УДК | 621.315.592 |
Исследование возможности изготовления напряженных сверхрешеток InAs/GaSb методом газофазной эпитаксии из металлоорганических соединений Электронный ресурс |
|
Ключевые слова | газофазная эпитаксия |
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 2. - С. 273-276 |
|
Имя макрообъекта | Левин_исследование |