Поиск

Зависимость объемных электрофизических свойств мультикремния от параметров разориентации зерен

Авторы: Пещерова, С. М. Якимов, Е. Б. Непомнящих, А. И. Орлов, В. И. Феклисова, О. В. Павлова, Л. А. Пресняков, Р. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/694170977
Дата корректировки 10:06:47 30 декабря 2021 г.
Стандартный номер 10.21883/FTP.2019.01.46988.8814
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Автор Пещерова, С. М.
Заглавие Зависимость объемных электрофизических свойств мультикремния от параметров разориентации зерен
Физич. носитель Электронный ресурс
Dependence of the bulk electrophysical properties of multisilicon on the grain misorientation parameters
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 9 назв.
Аннотация Методами тока, индуцированного электронным или лазерным пучком, исследована рекомбинационная активность внутризеренных дефектов в мультикристаллическом кремнии. Выявлена взаимосвязь ориентации зерен с характером распределения внутризеренных дефектов (дислокаций и примесных включений) и их рекомбинационной активностью. Дефектная структура зерен исследована с использованием различных методик травления для выявления дефектов. Показано, что плотность и распределение дефектов в зернах зависят от их ориентации относительно оси роста. Поэтому именно внутризеренные дефекты и примеси в большей степени, чем границы зерен, ответственны за деградацию времени жизни неравновесных носителей заряда.
Ключевые слова мультикремний
мультикристаллический кремний
кремний
фотоэлектропреобразователи
метод Бриджмена
кристаллизация
внутризеренные дефекты
Другие авторы Якимов, Е. Б.
Непомнящих, А. И.
Орлов, В. И.
Феклисова, О. В.
Павлова, Л. А.
Пресняков, Р. В.
Название источника Физика и техника полупроводников
Место и дата издания 2019
Прочая информация Т. 53, вып. 1. - С. 59-64
Имя макрообъекта Пещерова_зависимость
Тип документа b