| Индекс УДК | 535.33 |
|
Оптические и электрофизические свойства тонких пленок оксида цинка, легированных оксидом марганца и полученных методом лазерного осаждения Н. А. Босак, А. Н. Чумаков, А. А. Шевченок [и др.] |
|
| Аннотация | Методом высокочастотного импульсно-периодического f - 10-15 кГц лазерного воздействия с длиной волны l = 1. 064 мкм и плотностью мощности q = 150 МВт/см{2} на керамику из оксида цинка, легированного оксидом марганцем, получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке при давлении в вакуумной камере p = 2. 7 Па. Изучены морфология поверхности и элементный состав полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии, растровой электронной микроскопии и рентгеноспектрального микроанализа. Выявлены особенности спектров пропускания в видимой, ближней и средней ИК-областях. Проведен анализ электрофизических свойств гетероструктуры ZnO+2% MnO[2]/Si. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 88, № 2. - С. 221-226 |
