| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/692204337 |
| Дата корректировки | 14:58:57 7 декабря 2021 г. |
| 10.21883/OS.2019.02.47207.278-18 | |
| Служба первич. каталог. | Феллер |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 535.33 |
| Баталов, Р. И. | |
|
Фотоэлектрические свойства композитных слоев Si с наночастицами Ag, полученных ионной имплантацией и лазерным отжигом Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., схем. |
| Библиография | Библиогр.: 18 назв. |
| Аннотация | Исследованы структурные и фотоэлектрические свойства композитных слоев Ag : Si, сформированных в приповерхностной области монокристаллической подложки c-Si высокодозной имплантацией ионов Ag{+} с последующим импульсным лазерным отжигом (ИЛО). Установлено, что в результате ионной имплантации максимальная концентрация примеси Ag сосредоточена вблизи поверхности и падает до уровня 10{19} at/cm{3} на глубине 60 nm. При этом в сформированном тонком слое аморфизованного Si (a-Si) содержались наночастицы Ag и включения оксида серебра (Ag[2]O). В условиях ИЛО достигается плавление приповерхностной области и диффузионное перераспределение имплантированной примеси, что приводит к повышенной концентрации Ag вблизи поверхности и на глубине 60 nm. Темновые вольт-амперные характеристики перехода между слоем Ag : Si и подложкой p-Si показали формирование диодной структуры в результате ИЛО. Измерения фотопроводимости на сформированных образцах демонстрируют наличие фотоотклика (фото-ЭДС) в области длин волн 500-1200 nm, интенсивность которого повышалась для образцов, подвергнутых ИЛО при увеличении плотности энергии в импульсе. Полученные результаты демонстрируют потенциальную возможность применения композитных слоев Ag : Si и метода их формирования в технологии фотоприемных устройств. |
|
композитные слои наночастицы ионная имплантация лазерный отжиг фотопроводимость фотоэлектрические свойства оксид серебра фото-ЭДС |
|
|
Нуждин, В. И. Валеев, В. Ф. Нургазизов, Н. И. Бухараев, А. А. Ивлев, Г. Д. Степанов, А. Л. |
|
|
Оптика и спектроскопия 2019 Т. 126, вып. 2. - С. 214-219 |
|
| Имя макрообъекта | Баталов_фотоэлектрические |
| Тип документа | b |
