| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/691583994 |
| Дата корректировки | 11:47:13 30 ноября 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2017.12.45239.173 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Грудинкин, С. А. | |
|
ИК-спектры углерод-вакансионных кластеров при топохимическом превращении кремния в карбид кремния Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 20 назв. |
| Аннотация | Методами инфракрасной спектроскопии (ИК) и спектральной эллипсометрии экспериментально подтвержден предсказанный ранее теоретически механохимический эффект нарушения стехиометрии состава, ведущий к образованию углерод-вакансионных структур в пленках карбида кремния (SiC) на подложках кремния (Si), выращенных методом замещения атомов. Обнаружено, что полоса в области 960 cm{-1} в ИК-спектрах пленок SiC на Si, отвечающая "углерод-вакансионным кластерам", всегда присутствует в пленках SiC, выращенных в атмосфере чистого монооксида углерода (CO) или в смеси CO с силаном (SiH[4]) на подложках Si различной ориентации, уровня и типа легирования. Установлено отсутствие полосы поглощения в области 960 cm{-1} в ИК-спектрах пленок SiC, синтезированных при оптимальном соотношении давлений газов CO и трихлорсилана (SiHCl[3]). Экспериментально подтвержден предсказанный ранее теоретически механизм протекания химической реакции замещения атомов Si на углерод (С) при взаимодействии газов CO и SiHCl[3] на поверхности подложки Si, приводящий к формированию эпитаксиальных слоев монокристаллического SiC. |
| Ключевые слова | пленки |
|
формирование пленок карбид кремния монооксид углерода моносилан трихлорсилан механохимический эффект нарушение стехиометрии состава углерод-вакансионные структуры инфракрасная спектроскопия спектральная эллипсометрия |
|
| Другие авторы | Кукушкин, С. А. |
|
Осипов, А. В. Феоктистов, Н. А. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 59, вып. 12. - С. 2403-2408 |
| Имя макрообъекта | Грудинкин_ИК-спектры |
| Тип документа | b |
