| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/691512073 |
| Дата корректировки | 14:57:09 29 ноября 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2017.12.45230.157 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Тумаркин, А. В. | |
|
Начальные стадии роста пленок титаната бария-стронция на подложке полуизолирующего карбида кремния Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 21 назв. |
| Аннотация | Впервые исследованы начальные стадии роста сегнетоэлектрических пленок титаната бария-стронция на подложках монокристаллического карбида кремния. Выбор подложки, обладающей высокой теплопроводностью, обусловлен возможностью применения данных структур в мощных сверхвысокочастотных устройствах. Определены диапазоны температур, разделяющие механизм поверхностной диффузии осаждаемых атомов от диффузии через газовую фазу при росте многокомпонентных пленок. Исследования показали, что массоперенос посредством поверхностной диффузии приводит к формированию зародышей малой высоты, покрывающих большую часть подложки, тогда как массоперенос атомов через газовую фазу приводит к образованию "столбчатой" островковой структуры с малым процентом покрытия подложки и большей высотой островков. |
| Ключевые слова | пленки |
|
сегнетоэлектрические пленки титанат бария-стронция подложки карбида кремния монокристаллические подложки рост пленок заданные свойства |
|
| Другие авторы | Серенков, И. Т. |
|
Сахаров, В. И. Разумов, С. В. Одинец, А. А. Злыгостов, М. В. Сапего, Е. Н. Афросимов, В. В. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 59, вып. 12. - С. 2352-2357 |
| Имя макрообъекта | Тумаркин_начальные стадии |
| Тип документа | b |
