| Индекс УДК | 621.7 |
|
Пути повышения адгезионной прочности твердых износостойких наноструктурных покрытий в системе Ti–B–(Cr, Si, C)–N Ф. В. Кирюханцев-Корнеев, А. Н. Шевейко, М. И. Петржик |
|
| Аннотация | Изучены структура и свойства покрытий Ti–B–N, Ti–Cr–B–N, Ti–Si–B–C–N, полученных методом магнетронного распыления СВС-мишеней. Рассмотрены способы повышения адгезионной прочности покрытий: нанесение подслоев, подача на подложку высокого напряжения смещения в начале осаждения покрытия, предварительное ионное травление подложки, а также имплантация высокоэнергетическими ионами на различных этапах осаждения. Для исследования адгезии покрытий использован метод скратч-тестирования. |
| Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 55, № 3. - С. 304-313 |
