| Индекс УДК | 620.1/.2 |
|
Исследование диффузионно-барьерных свойств, термической стабильности и жаростойкости покрытий TiAlSiCN/AlOx и TiAlSiCN/SiBCN Ф. В. Кирюханцев-Корнеев, К. А. Купцов, Н. Ю. Табачкова [и др.] |
|
| Аннотация | Изучены диффузионно-барьерные свойства, стойкость к термоциклированию, жаростойкость и термическая стабильность однослойных покрытий TiAlSiCN и многослойных покрытий TiAlSiCN/SiBCN и TiAlSiCN/AlOx. Покрытия получены с помощью вакуумной ионно-плазменной технологии, комбинирующей магнетронное и ионное распыление керамических мишеней TiAlSiCN, Si[42]B[45]C[13] или Al[2]O[3] с высокоэнергетической ионной имплантацией растущего покрытия ионами Ti{2+}. Исследование структуры и свойств покрытий в исходном состоянии выполнено с использованием методов оптической эмиссионной спектроскопии тлеющего разряда, просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения, сканирующей электронной микроскопии высокого разрешения, энерго-дисперсионной спектроскопии, наноиндентирования. |
| Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 57, № 5. - С. 543-560 |
