| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/691066776 |
| Дата корректировки | 11:26:59 24 ноября 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2017.11.45046.05k | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Мастеров, Д. В. | |
|
Новый подход к формированию топологии планарных структур на основе высокотемпературного сверхпроводника YBCO Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 10 назв. |
| Аннотация | Представлена новая технология формирования планарных сверхпроводниковых структур на основе пленок YBCO с металлическими контактами, полностью исключающая процессы травления. Нужная топология сверхпроводящих элементов из пленки YBCO создается предложенным методом "задающей маски". Омические контакты к сверхпроводящей структуре изготавливаются методом взрывной фотолитографии. Для исследования возможностей данной технологии были проведены измерения сверхпроводящих мостиков шириной 3, 10 и 50 мю m и тестовых структур для измерения контактного сопротивления. |
|
планарные структуры сверхпроводниковые структуры пленки YBCO высокотемпературные сверхпроводники низкоомные омические контакты топология метод задающей маски |
|
| Другие авторы | Павлов, С. А. |
| Парафин, А. Е. | |
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 59, вып. 11. - С. 2113-2116 |
| Имя макрообъекта | Мастеров_новый |
| Тип документа | b |
