| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/690542391 |
| Дата корректировки | 9:41:09 18 ноября 2021 г. |
| Стандартный номер | 10.21883/OS.2020.10.50016.12-20 |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Служба первич. каталог. | Феллер |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 535.33 |
| Автор | Кручинин, В. Н. |
| Заглавие | Оптические свойства тонких пленок SiO[x] (x < 2), полученных обработкой термического диоксида кремния в водородной плазме |
| Физич. носитель | Электронный ресурс |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 26 назв. |
| Аннотация | Методами эллипсометрии, квантово-химического моделирования и фотолюминесцентной спектроскопии проведено исследование оптических свойств и состава тонких плeнок термического оксида кремния, обработанных в водородной плазме электрон-циклотронного резонанса. Установлено, что обработка плeнок в плазме приводит к их обеднению кислородом и образованию нестехиометрического оксида SiO[x<2]. Путeм сопоставления экспериментальной спектральной зависимости показателя преломления с теоретически рассчитанной из первых принципов определены значения параметра x в полученных плeнках SiO[x]. Показано, что увеличение времени обработки термического SiO[2] в водородной плазме приводит к увеличению показателя преломления плeнки, а также степени обеднения плeнки кислородом. Для исследуемых плeнок построена зависимость параметра x от времени обработки в водородной плазме. |
| Ключевые слова | оксид кремния |
|
эллипсометрия фотолюминесценция квантово-химическое моделирование тонкие пленки диоксид кремния водородная плазма пленки тонкие |
|
| Другие авторы | Перевалов, Т. В. |
|
Алиев, В. Ш. Исхакзай, Р. М. Х. Спесивцев, Е. В. Гриценко, В. А. Пустоваров, В. А. |
|
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2020 |
| Прочая информация | Т. 128, вып. 10. - С. 1467-1472 |
| Имя макрообъекта | Кручинин_оптические |
| Тип документа | b |
