| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/690309196 |
| Дата корректировки | 16:53:32 15 ноября 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2017.09.44850.163 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Погребняк, А. Д. | |
|
Влияние толщины бислоя наноструктурного многослойного покрытия MoN/CrN на его микроструктуру, твердость и элементный состав Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 23 назв. |
| Аннотация | Многослойные наноструктурные покрытия, состоящие из чередующихся слоев MoN и CrN, получены методом вакуумно-дугового испарения катода при различных условиях осаждения. Переход от микронных размеров бислоев к нанометровому масштабу в исследуемых покрытиях приводит к росту нанотвердости от 15 до 35.5GPa (при толщине слоя порядка 35 nm). В то же время с уменьшением количества бислоев в покрытии среднее значение твердости по Виккерсу увеличивается от 1267HV[0.05] до 3307HV[0.05]. Повышение величины подаваемого на подложку потенциала от -20 до -150 V приводит к формированию в слоях покрытий текстуры роста с осью [100], а также к увеличению интенсивности рефлексов с ростом толщины бислоев. Элементный анализ, проведенный с помощью резерфордовского обратного рассеяния, вторичной ионной масс-спектрометрии и энергодисперсионных спектров, показал хорошее разделение слоев MoN и CrN вблизи поверхности покрытий. |
| Ключевые слова | покрытия |
|
наноструктурные покрытия многослойные покрытия бислои слой молибден-азот слой хром-азот элементный состав покрытий микроструктура покрытий твердость покрытий |
|
| Другие авторы | Бондар, О. В. |
|
Жоллыбеков, Б. Константинов, С. Konarski, P. Береснев, В. М. Купчишин, А. И. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 59, вып. 9. - С. 1773-1777 |
| Имя макрообъекта | Погребняк_влияние |
| Тип документа | b |
