| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/689877429 |
| Дата корректировки | 16:43:47 10 ноября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2018.10.46466.8853 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Марков, Л. К. | |
|
Исследование профиля эффективного показателя преломления в самоорганизующихся наноструктурированных пленках ITO Электронный ресурс |
|
| Study of the effective refractive index profile in self-assembled nanostructured ITO films | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 34 назв. |
| Аннотация | Исследовались оптические характеристики и структурные особенности самоорганизующихся наноструктурированных пленок оксида индия и олова (ITO), нанесенных методом электронно-лучевого испарения на нагретые выше 400°C подложки. Оценки профилей распределения вещества и значения эффективного показателя преломления в исследуемых пленках были получены компьютерным моделированием среды, имеющей наиболее близкие к наблюдаемым в эксперименте спектральные зависимости коэффициентов пропускания и отражения света. Полученные результаты находятся в хорошем согласии с данными растровой электронной микроскопии для этих пленок и позволяют не только подтвердить градиентный характер таких покрытий, но и восстановить его некоторые особенности. Дальнейшее заращивание пустот в самоорганизующихся наноструктурированных пленках посредством нанесения дополнительного количества материала методом магнетронного распыления при комнатной температуре приводит к изменению в них профиля эффективного показателя преломления. Таким образом можно создавать прозрачные проводящие покрытия с профилем эффективного показателя преломления, настраиваемым под поставленные задачи. Настройка профиля показателя преломления в самоорганизованных пленках ITO приобретает особое значение для конструирования покрытий с заданными свойствами в силу ограниченного набора прозрачных проводящих материалов. |
| Ключевые слова | наноструктурированные пленки |
|
пленки ITO оксид индия и олова магнетронное распыление электронно-лучевое испарение |
|
|
Павлюченко, А. С. Смирнова, И. П. Павлов, С.И. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 10. - С. 1228-1236 |
|
| Имя макрообъекта | Марков_исследование |
| Тип документа | b |
