Поиск

Определение концентрации водорода по фотоэдс МДП структур Pd-оксид-InP

Авторы: Гребенщикова, Е. А. Салихов, Х. М. Сидоров, В. Г. Шутаев, В. А. Яковлев, Ю. П.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/689871344
Дата корректировки 15:01:57 10 ноября 2021 г.
10.21883/FTP.2018.10.46458.8854
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Гребенщикова, Е. А.
Определение концентрации водорода по фотоэдс МДП структур Pd-оксид-InP
Электронный ресурс
Determination of hydrogen concentration by means of photovoltage of Pd-oxide-InP MIS structures
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 9 назв.
Аннотация Исследована фотоэдс структур металл-диэлектрик-полупроводник (Pd/анодный оксид/InP) в зависимости от концентрации водорода в азотно-водородной газовой смеси в интервале 0.1-100 об%. Показано,что при одновременном воздействии на структуру освещения и водорода скорость спада фотоэдс структуры Pd-оксид-InP и концентрация водорода связаны между собой экспоненциально: NH = a exp(bS),где N[H] - концентрация водорода в газовой смеси в объемных %, S = dU/dt|[t=0] - скорость изменения сигнала U на начальном участке спада фотоэдс, начиная с момента контакта структуры с газовой смесью, a и b - постоянные, зависящие от толщины слоя палладия и слоя анодной оксидной пленки на InP.
Ключевые слова водород
концентрация водорода
фотоэдс
металл-диэлектрик-полупроводник
азотно-водородные газовые смеси
Салихов, Х. М.
Сидоров, В. Г.
Шутаев, В. А.
Яковлев, Ю. П.
Физика и техника полупроводников
2018
Т. 52, вып. 10. - С. 1183-1186
Имя макрообъекта Гребенщикова_определение
Тип документа b