Поиск

Эффект Пула-Френкеля и возможность его применения для прогнозирования радиационного накопления заряда в термическом диоксиде кремния

Авторы: Ширяев, А. А. Воротынцев, В. М. Шоболов, Е. Л.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/689858369
Дата корректировки 11:23:24 10 ноября 2021 г.
10.21883/FTP.2018.09.46143.8762
Служба первич. каталог. Шавель
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.315.592
Ширяев, А. А.
Эффект Пула-Френкеля и возможность его применения для прогнозирования радиационного накопления заряда в термическом диоксиде кремния
Электронный ресурс
Poole-Frenkel effect and opportunity of its application for radiation charge build up prediction in thermal silicon dioxide
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 32 назв.
Аннотация Предложено применить эффект Пула-Френкеля для прогнозирования радиационно-индуцированного накопления заряда в термическом диоксиде кремния. Были рассмотрены различные механизмы электропроводности термического диоксида кремния, определены условия возникновения в нем эффекта Пула-Френкеля и рассчитаны характеристики донорных центров, участвующих в электропроводности Пула-Френкеля. Определен уровень донорных центров с энергией 2.34 эВ ниже дна зоны проводимости и получена концентрация ионизированных донорных центров, равная 1.0 · 10{9} см{-3} при температуре 400K и напряженности поля 10МВ/см. Сделано заключение, что эффект Пула-Френкеля можно применить не для прогнозирования абсолютного значения радиационно-индуцированного заряда, а для сравнения образцов по способности его накапливать.
Ключевые слова радиационное накопление заряда
эффект Пула-Френкеля
термический диоксид кремния
диоксид кремния
кремний
Воротынцев, В. М.
Шоболов, Е. Л.
Физика и техника полупроводников
2018
Т. 52, вып. 9. - С. 990-994
Имя макрообъекта Ширяев_эффект
Тип документа b