| Индекс УДК | 662.62 |
|
О механизме горения тонких наноструктурированных кремниевых пластин в кислороде при повышенном давлении С. И. Футько, И. А. Козначеев, О. С. Рабинович [и др.] |
|
| Аннотация | Рассмотрен физический механизм горения тонких наноструктурированных кремниевых пластин в кислороде при повышенном давлении. На основе анализа экспериментальных данных установлено, что при распространении волны горения по наноструктурированной кремниевой пленке горят жидкие капли кремния, получаемые в результате термохимического разрушения протравленного кремния, и ведущим процессом является процесс гетерогенного горения газовзвеси частиц кремния в кислороде. Представлена физико-химическая модель, описывающая скорость распространения фронта волны горения в газовзвеси частиц кремния в жидкой фазе в зависимости от давления кислорода и диаметра кремниевых частиц. Рассчитаны зависимости для скорости фронта горения и времени горения частиц в зависимости от давления кислорода и размера частиц в газовзвеси. Установлено, что частицы кремния горят по кинетическому механизму с обратной зависимостью времени горения от давления и пропорциональной зависимостью от диаметра частицы. Рассчитана зависимость степени дробления частиц во фронте волны горения в зависимости от структуры наноструктурированного образца и давления кислорода. Сформулированы важные для практических применений рекомендации для получения более высоких скоростей горения наноструктурированных кремниевых пленок при более низких давлениях кислорода. |
| Название источника | Инженерно-физический журнал |
| Место и дата издания | 2019 |
| Прочая информация | Т. 92, № 1. - С. 3-13 |
