| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/688472121 |
| Дата корректировки | 10:36:45 25 октября 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2017.04.44282.284 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Леньшин, А. С. | |
|
Состав нанокомпозитов из тонких слоев олова на пористом кремнии, сформированных методом магнетронного распыления Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 17 назв. |
| Аннотация | С использованием методов растровой электронной микроскопии и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии проведены исследования особенностей морфологии и состава поверхности нанокомпозитов из тонких слоев олова на пористом кремнии, сформированных методом магнетронного распыления. Обнаружено, что сформированные нанокомпозиты в зависимости от толщины осажденного слоя олова различаются между собой соотношением основных фаз: диоксида олова, субоксида и металлического олова. При этом доля окисленного олова в фазовом составе композитов уменьшается от поверхности к объему образца. Установлено, что осаждение нанослоев олова не приводит к значительному изменению фазового состава подложки пористого кремния. |
| Ключевые слова | нанокомпозиты |
|
слои олова тонкие слои пористый кремний морфология поверхности магнетронное распыление |
|
| Другие авторы | Кашкаров, В. М. |
|
Домашевская, Э. П. Середин, П. В. Бельтюков, А. Н. Гильмутдинов, Ф. З. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 59, вып. 4. - С. 773-782 |
| Имя макрообъекта | Леньшин_состав |
| Тип документа | b |
