| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Особенности оптических характеристик пористого кремния и их модификация с использованием химической обработки поверхности Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | пористый кремний |
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 3. - С. 342-348 |
|
| Имя макрообъекта | Леньшин_особенности |
