| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/687886207 |
| Дата корректировки | 15:36:39 18 октября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2018.03.45617.8684 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Жарова, Ю. А. | |
|
Поверхностные наноструктуры, формирующиесяна ранних стадиях металл-стимулированного химического травления кремния. Оптические свойства наночастиц серебра Электронный ресурс |
|
| Surface nanostructures formed at the early stages of metal-assisted chemical etching of silicon. Optical properties of silver nanoparticles | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 18 назв. |
| Аннотация | Работа, состоящая из двух частей, посвящена исследованию наноструктур, формирующихся в 3-стадийном процессе металл-стимулированного химического травления кремния. В первой части исследован процесс химического осаждения слоя самоорганизующихся на поверхности кремниевой пластины наночастиц Ag (первая стадия металл-стимулированного химического травления). Этот слой является, с одной стороны, катализатором для проведения последующего травления кремния, а с другой - служит своеобразной маской для формирования той или иной топологии формирующихся нанонитей Si. С помощью растрового электронного микроскопа исследована морфология слоя наночастиц серебра (толщиной 40-60 нм), а с помощью спектральной эллипсометрии измерены спектры эллипсометрических углов нанослоев. На основе этих спектров определена комплексная диэлектрическая функция полученного слоя Ag с характерным пиком плазмонного резонанса в УФ-части спектра. Исследования оптических свойств слоев нанонитей Si, формирующихся на ранних стадиях металл-стимулированного химического травления, будут опубликованы во второй части работы (в отдельной статье). |
| Толмачёв, В. А. | |
| Ключевые слова | поверхностные наноструктуры |
|
химическое травление кремния кремний наночастицы серебра серебро селективное каталитическое травление оптические свойства |
|
|
Толмачев, В. А. Бедная, А. И. Павлов, С. И. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 3. - С. 333-336 |
|
| Имя макрообъекта | Жарова_поверхностные |
| Тип документа | b |
