| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/687519324 |
| Дата корректировки | 9:41:37 14 октября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2018.03.45631.8695 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Астрова, Е. В. | |
|
Образование макропор в n-Si при анодировании в органическом электролите Электронный ресурс |
|
| Formation of macropores in n-Si under anodization in organic electrolyte | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 19 назв. |
| Аннотация | Проведено экспериментальное исследование фотоэлектрохимического травления электронного кремния, предназначенного для солнечных элементов, в диметилформамиде, содержащем 4% HF. Изучены морфология пор, пористость, эффективная валентность и скорость травления в зависимости от приложенного напряжения, интенсивности освещения обратной стороны образца и длительности процесса. Установлено, что закономерности анодирования n-Si в органическом электролите существенно отличаются от таковых в случае водных растворов. Это проявляется в том, что при напряжении выше порогового, в так называемом пробойном режиме, макропоры с вертикальными стенками начинают размножаться и интенсивно ветвиться за счет появления боковых пор. Появление вторичных пор сопровождается увеличением пористости, снижением скорости распространения пористого фронта в глубь подложки и быстрым переходом в режим электрополировки. В пробойном режиме при малых уровнях подсветки обнаружена фрактальная структура макропор, распространяющихся по определенным кристаллографическим направлениям: (100) и, что ранее не наблюдалось, (111). Показано, что морфологией макропор можно управлять в процессе анодирования путем перехода из одного режима в другой при изменении внешних параметров: напряжения или подсветки. Показано, что использование органического электролита позволяет получать макропористые мембраны с высокой пористостью, значительно превышающей пористость макропористых мембран, сформированных в водных электролитах при тех же условиях. |
| Ключевые слова | органические электролиты |
|
электронный кремний кремний анодирование n-Si макропоры макропористые слои электрохимическое травление диметилформамид |
|
|
Преображенский, Н. Е. Ли, Г. В. Павлов, С. И. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 3. - С. 414-428 |
|
| Имя макрообъекта | Астрова_образование |
| Тип документа | b |
