| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/687450994 |
| Дата корректировки | 14:48:53 13 октября 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2017.01.43968.205 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Домашевская, Э. П. | |
|
Электронное строение и фазовый состав диэлектрических прослоек в многослойной аморфной наноструктуре [(CoFeB)[60]C[40]/SiO[2]][200] Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 18 назв. |
| Аннотация | Многослойная аморфная наноструктура [(CoFeB)[60]C[40]/SiO[2]][200] из чередующихся композитных и диэлектрических слоев была получена ионно-лучевым распылением на вращающуюся ситалловую подложку из двух мишеней, одна из которых представляла собой металлическую пластину сплава Co[40]Fe[40]B[20] со вставками графита. Диэлектрические прослойки напылялись из пластины кварца SiO[2] (вторая мишень). Толщины бислоев многослойной наноструктуры (МНС) (6 nm), состоящие из металлосодержащих композитных слоев с углеродом (CoFeB)[60]C[40] толщиной около 4 nm и диэлектрических прослоек оксидов кремния толщиной около 2 nm, определялись методом малоугловой дифракции. Результаты экспериментального послойного исследования без разрушения МНС методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии (УМРЭС) показали существенное отклонение стехиометрического состава диэлектрических прослоек от стехиометрии распыляемого кварца в сторону уменьшения содержания кислорода с образованием субоксида SiO[1,3]. По результатам моделирования Si L[2,3]-спектров с помощью эталонных спектров известных фаз содержание субоксидной фазы кремния в аморфных диэлектрических прослойках достигает около половины состава прослойки, вторая половина которого приходится на диоксид SiO[2]. "Экранирующее" действие углерода в металлосодержащих слоях проявляется в отсутствии силицидообразования на интерфейсах исследуемой многослойной структуры и должно способствовать увеличению анизотропии их электромагнитных свойств. |
| Ключевые слова | наноструктуры |
|
многослойные наноструктуры диэлектрические прослойки электронное строение фазовый состав |
|
| Другие авторы | Буйлов, Н. С. |
|
Терехов, В. А. Барков, К. А. Ситников, В. Г. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2017 |
| Прочая информация | Т. 59, вып. 1. - С. 161-166 |
| Имя макрообъекта | Домашевская_электронное |
| Тип документа | b |
