| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/687432709 |
| Дата корректировки | 9:36:19 13 октября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2018.02.45454.8546 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Пещерова, С. М. | |
|
Электрическая активность протяженных дефектов в мультикремнии Электронный ресурс |
|
| Electrical activity of extended defects in multicrystalline silicon | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 7 назв. |
| Аннотация | Проведены исследования по распределению времени жизни неравновесных носителей заряда в мультикристаллическом кремнии (мультикремнии), выращенном методом Бриджмена из высокочистого рафинированного металлургического кремния. Выявлены закономерности изменения, обусловленные особенностями зеренно-граничной структуры слитков. Границы зерен, дислокации и примесные микровключения исследовали методами рентгеноспектрального электронно-зондового микроанализа (РСМА/EPMA) и электронной микроскопии (РЭМ/SEM) с применением селективного кислотного травления. Электрическую активность протяженных дефектов регистрировали методом наведенного тока (НТ/EBIC). |
| Ключевые слова | мультикремний |
|
мультикристаллический кремний протяженные дефекты электрическая активность неравновесные носители заряда метод Бриджмена селективное кислотное травление |
|
|
Якимов, Е. Б. Непомнящих, А. И. Павлова, Л. А. Феклисова, О. В. Пресняков, Р. В. |
|
|
Физика и техника полупроводников 2018 Т. 52, вып. 2. - С. 266-271 |
|
| Имя макрообъекта | Пещерова_электрическая |
| Тип документа | b |
