Поиск

Релаксация тока в Si[3]N[4]: эксперимент и численное моделирование

Авторы: Новиков, Ю. Н. Гриценко, В. А.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/687284096
Дата корректировки 16:32:07 11 октября 2021 г.
10.21883/FTT.2017.01.43949.234
Служба первич. каталог. Войтик
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 539.21
Новиков, Ю. Н.
Релаксация тока в Si[3]N[4]: эксперимент и численное моделирование
Электронный ресурс
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 21 назв.
Аннотация Экспериментально измерена релаксация тока в структуре металл-нитрид-оксид-полупроводник. Эксперимент сравнивается с расчетом, основанным на двухзонной модели проводимости и многофононном механизме ионизации ловушек. Из сравнения эксперимента с расчетом для величины сечения рекомбинации получена оценка сверху, которая составила 5 · 10{-13} cm{2}.
Ключевые слова структура металл-нитрид-оксид-полупроводник
нитрид кремния
релаксация тока
электронные ловушки
дырочные ловушки
Другие авторы Гриценко, В. А.
Название источника Физика твердого тела
Место и дата издания 2017
Прочая информация Т. 59, вып. 1. - С. 49-53
Имя макрообъекта Новиков_релаксация
Тип документа b