Маркер записи | n |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/687284096 |
Дата корректировки | 16:32:07 11 октября 2021 г. |
10.21883/FTT.2017.01.43949.234 | |
Служба первич. каталог. | Войтик |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | PSBO |
Код языка издания | rus |
Индекс УДК | 539.21 |
Новиков, Ю. Н. | |
Релаксация тока в Si[3]N[4]: эксперимент и численное моделирование Электронный ресурс |
|
Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
Библиография | Библиогр.: 21 назв. |
Аннотация | Экспериментально измерена релаксация тока в структуре металл-нитрид-оксид-полупроводник. Эксперимент сравнивается с расчетом, основанным на двухзонной модели проводимости и многофононном механизме ионизации ловушек. Из сравнения эксперимента с расчетом для величины сечения рекомбинации получена оценка сверху, которая составила 5 · 10{-13} cm{2}. |
Ключевые слова | структура металл-нитрид-оксид-полупроводник |
нитрид кремния релаксация тока электронные ловушки дырочные ловушки |
|
Другие авторы | Гриценко, В. А. |
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2017 |
Прочая информация | Т. 59, вып. 1. - С. 49-53 |
Имя макрообъекта | Новиков_релаксация |
Тип документа | b |