| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/686762586 |
| Дата корректировки | 15:27:28 5 октября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2017.11.45093.07 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 621.315.592 |
| Комков, О. С. | |
|
Бесконтактная характеризация дельта-слоев марганца и углерода в арсениде галлия Электронный ресурс |
|
| Contactless characterization of delta-layers of manganese and carbon in gallium arsenide | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 32 назв. |
| Аннотация | Метод спектроскопии фотоотражения применен для диагностики одиночных дельта-слоев марганца и углерода в нелегированном GaAs. Показано, что определяемая этим методом напряженность встроенных электрических полей растет с увеличением слоевой концентрации введенных примесей и хорошо коррелирует с технологическими данными и результатами, полученными методом Холла. Фазочувствительное фотоотражение позволило независимо измерить приповерхностное поле и поле, обусловленное дельта-легированием. Это дает возможность бесконтактно определять долю электрически активной примеси Mn и выявлять вклад бета-слоев углерода в гетеросистемы на основе GaAs. |
| Ключевые слова | дельта-слои |
|
марганец углерод арсенид галлия метод Холла дельта-легирование гетеросистемы арсенид-галлиевые гетероструктуры гетероструктуры примеси Mn |
|
| Кудрин, А. В. | |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 11. - С. 1473-1479 |
|
| Имя макрообъекта | Комков_бесконтактная |
| Тип документа | b |
