Поиск

Эллипсометрия металлических пленок в условиях аномального скин-эффекта

Авторы: Сотский, А. Б. Чудаков, Е. А. Сотская, Л. И.
Краткая информация
Маркер записи n 22 3 4500
Контрольный номер opsp21_to129_vy7_ss889_ad1
Дата корректировки 8:14:58 1 октября 2021 г.
Кодируемые данные 210922s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0|
DOI
10. 21883/OS. 2021. 07. 51080. 1847-21
Системный контрольный номер RUMARS-opsp21_to129_vy7_ss889_ad1
AR-MARS
Служба первич. каталог. Фундаментальная библиотека Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого
МАРС
Код языка каталог. rus
Код языка издания rus
rus
Индекс УДК 535.2/.3
Индекс ББК 22.343
Таблицы для массовых библиотек
Сотский, А. Б.
Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова
070
Эллипсометрия металлических пленок в условиях аномального скин-эффекта
А. Б. Сотский, Е. А. Чудаков, Л. И. Сотская
Иллюстрации/ тип воспроизводства граф., табл.
Текст
непосредственный
Библиография Библиогр.: с. 898 (16 назв.)
Аннотация Сформулированы интегральные уравнения Фредгольма второго рода, описывающие поля волн ТЕ- и ТМ-поляризации в металлических пленках с учетом аномального скин-эффекта. Уравнения допускают численное решение методом квадратур. Исследованы электрические поля в золотых и алюминиевых пленках, расположенных на кремниевой подложке, и угловые зависимости поляризационных углов отраженного от пленок света. Установлено, что для решения обратной задачи многоугловой эллипсометрии металлических пленок с использованием приближения нормального скин-эффекта характерна нестабильность восстановленного комплексного показателя преломления металла при изменении толщины металлической пленки.
Физика
AR-MARS
Физическая оптика
AR-MARS
Ключевые слова эллипсометрии
металлические пленки
аномальный скин-эффект
интегральные уравнения
метод квадратур
электрические поля
золотые подложки
алюминиевые подложки
кремниевые подложки
Чудаков, Е. А.
Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова
070
Сотская, Л. И.
Белорусско-Российский университет
070
ISSN 0030-4034
Название источника Оптика и спектроскопия
Место и дата издания 2021
Прочая информация Т. 129, вып. 7. - С. 889-898
RU
19013582
20210922
RCR
RU
19013582
20210922
RU
AR-MARS
20210923
RCR
RU
AR-MARS
20210923
Тип документа b
code
year
to
vy
ss
ad
opsp
2021
129
7
889
1
13761
Физическая оптика