| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | opsp21_to129_vy7_ss889_ad1 |
| Дата корректировки | 8:14:58 1 октября 2021 г. |
| Кодируемые данные | 210922s2021||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
|
DOI 10. 21883/OS. 2021. 07. 51080. 1847-21 |
|
| Системный контрольный номер | RUMARS-opsp21_to129_vy7_ss889_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 535.2/.3 |
| Индекс ББК | 22.343 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Сотский, А. Б. Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова 070 |
|
|
Эллипсометрия металлических пленок в условиях аномального скин-эффекта А. Б. Сотский, Е. А. Чудаков, Л. И. Сотская |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | граф., табл. |
| Текст | |
| непосредственный | |
| Библиография | Библиогр.: с. 898 (16 назв.) |
| Аннотация | Сформулированы интегральные уравнения Фредгольма второго рода, описывающие поля волн ТЕ- и ТМ-поляризации в металлических пленках с учетом аномального скин-эффекта. Уравнения допускают численное решение методом квадратур. Исследованы электрические поля в золотых и алюминиевых пленках, расположенных на кремниевой подложке, и угловые зависимости поляризационных углов отраженного от пленок света. Установлено, что для решения обратной задачи многоугловой эллипсометрии металлических пленок с использованием приближения нормального скин-эффекта характерна нестабильность восстановленного комплексного показателя преломления металла при изменении толщины металлической пленки. |
|
Физика AR-MARS Физическая оптика AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
эллипсометрии металлические пленки аномальный скин-эффект интегральные уравнения метод квадратур электрические поля золотые подложки алюминиевые подложки кремниевые подложки |
|
Чудаков, Е. А. Могилевский государственный университет имени А. А. Кулешова 070 Сотская, Л. И. Белорусско-Российский университет 070 |
|
| ISSN | 0030-4034 |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 129, вып. 7. - С. 889-898 |
|
RU 19013582 20210922 RCR |
|
|
RU 19013582 20210922 |
|
|
RU AR-MARS 20210923 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20210923 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to vy ss ad |
|
|
opsp 2021 129 7 889 1 |
|
| 13761 | |
| Физическая оптика |
