| Индекс УДК | 666.29 |
|
Получение нитевидных кристаллов нитрида титана из газовой фазы В. Г. Бабашов, Н. М. Варрик, Т. А. Карасева |
|
| Аннотация | Приведены результаты работы по получению нитевидных кристаллов нитрида титана из газовой фазы. Ранее была проведена теоретическая оценка возможности гомогенного образования микроподложек различного вида и состава в газовой фазе, условий конденсации фазы нитрида титана и роста нитевидных кристаллов. На основании результатов термодинамического анализа исследуемой системы были проведены расчеты действующих критических пересыщений и оценены скорости гомогенной конденсации в газовой фазе титана и натрия титана. Термодинамические расчеты составов подсистем Ti-Cl-H, Ti-Cl-N, Ti-Cl-Ar определили конструктивные элементы лабораторной установки и технологические особенности процесса выращивания кристаллов нитрида титана. Были получены и исследованы образцы нитевидных кристаллов нитрида титана. |
| Название источника | Стекло и керамика |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | № 8. - С. 12-21 |
