| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/686154290 |
| Дата корректировки | 14:28:33 28 сентября 2021 г. |
| 10.21883/FTP.2017.10.45012.8531 | |
| Служба первич. каталог. | Шавель |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Афонин, Н. Н. | |
|
Взаимодиффузия и фазообразование в тонкопленочной системе Fe-TiO[2] Электронный ресурс |
|
| Interdiffusion and phase formation in the Fe-TiO[2] thin films system | |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 25 назв. |
| Аннотация | Методами рентгенофазового анализа, вторично-ионной масс-спектрометрии, атомно-силовой микроскопии и математического моделирования исследовано взаимодействие магнетронным способом распыленного металлического железа с пленками оксида титана в процессе изотермического вакуумного отжига. Предложен механизм формирования сложных оксидов на границах зерен, основанный на реакционной диффузии металла Fe в оксид титана. Разработана количественная модель реакционной взаимодиффузии в двухслойных поликристаллических пленочных системах металл-оксид с ограниченной растворимостью компонентов. Численным анализом экспериментальных концентрационных распределений металлов в пленочной системе Fe-TiO[2] определены значения индивидуальных коэффициентов диффузии: железа 8.0 · 10{-13} см{2}/с и титана 3.0 · 10{-15} см{2}/с в условиях вакуумного отжига при 1073 K. |
| Логачёва, В. А. | |
| Ключевые слова | тонкопленочные системы |
|
пленочные системы взаимодиффузии фазообразование магнетронное распыление железо оксид титана |
|
| Логачева, В. А. | |
|
Физика и техника полупроводников 2017 Т. 51, вып. 10. - С. 1351-1356 |
|
| Имя макрообъекта | Афонин_взаимодиффузия |
| Тип документа | b |
