Маркер записи | n |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/685727589 |
Дата корректировки | 9:53:35 24 сентября 2021 г. |
10.21883/FTT.2018.11.46646.29NN | |
Служба первич. каталог. | Войтик |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | PSBO |
Код языка издания | rus |
Индекс УДК | 539.21 |
Мастеров, Д. В. | |
Исследование изолирующей области планарных сверхпроводниковых YBCO-структур, формируемых методом задающей маски Электронный ресурс |
|
Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
Библиография | Библиогр.: 11 назв. |
Аннотация | Рассмотрено развитиe нового способа формирования планарных структур на основе высокотемпературного сверхпроводника YBCO - метода "задающей маски". Суть метода заключается в том, что на исходной подложке создается маска, а после осаждения YBCO сверхпроводящие элементы оказываются сформированными в заданных локальных окнах маски, а между ними образуются разделительные области. Такие условия роста позволяют получать сверхпроводящие элементы микронного размера с высокими электрофизическими параметрами и гладкой поверхностью. Исследовано влияние параметров задающей маски из аморфного оксида церия на изолирующие свойства получаемых разделительных областей при изготовлении планарных структур на подложках из сапфира и фианита с эпитаксиальными подслоями оксида церия. |
Ключевые слова | сверхпроводники |
высокотемпературные сверхпроводники оксид иттрия-бария-меди YBCO планарные структуры метод задающей маски |
|
Другие авторы | Павлов, С. А. |
Парафин, А. Е. Скороходов, Е. В. Юнин, П. А. |
|
Название источника | Физика твердого тела |
Место и дата издания | 2018 |
Прочая информация | Т. 60, вып. 11. - С. 2100-2104 |
Имя макрообъекта | Мастеров_исследование |
Тип документа | b |