| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/685701703 |
| Дата корректировки | 9:02:49 23 сентября 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2018.10.46532.114 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Исламов, Д. Р. | |
|
Эволюция проводимости и катодолюминесценции пленок оксида гафния при изменении концентрации вакансий кислорода Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 26 назв. |
| Аннотация | Изучена зависимость проводимости пленок оксида гафния HfO2, синтезированных в разных режимах. В зависимости от режимов синтеза проводимость HfO[2] при фиксированном электрическом поле 1.0MV/cm изменяется на четыре порядка. Установлено, что проводимость HfO[2] лимитируется моделью фонон-облегченного туннелирования между ловушками. Определены термическая W[t] = 1.25 eV и оптическая W[opt] = 2.5 eV энергии ловушек в HfO[2]. Установлено, что экспоненциально сильный разброс проводимости HfO[2] обусловлен изменением концентрации ловушек в диапазоне 4 · 10{19} - 2.5 · 10{22} cm{-3}. В спектрах катодолюминесценции HfO[2] наблюдается голубая полоса с энергией 2.7 eV, обусловленная вакансиями кислорода. Обнаружена корреляция между концентрацией ловушек и интенсивностью катодолюминесценции, а также между концентрацией ловушек и показателем преломления. Предложен неразрушающий in situ метод определения концентрации ловушек оксида гафния с помощью измерения показателя преломления. Выявлены оптимальные значения концентраций вакансий кислорода для излучающих приборов на основе пленок HfO[2]. |
| Ключевые слова | пленки |
|
оксид гафния проводимость катодолюминесценция электронные ловушки вакансии кислорода |
|
| Другие авторы | Гриценко, В. А. |
|
Кручинин, В. Н. Иванова, Е. В. Заморянская, М. В. Лебедев, М. С. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 60, вып. 10. - С. 2006-2013 |
| Имя макрообъекта | Исламов_эволюция |
| Тип документа | b |
