| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/685634602 |
| Дата корректировки | 14:40:57 22 сентября 2021 г. |
| DOI | 10.21883/FTT.2018.10.46528.113 |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Автор | Погребняк, А. Д. |
| Заглавие | Микроструктура и механические свойства многослойных альфа-AlN/альфа-BCN-покрытий в зависимости от плотности тока при распылении мишени B[4]C |
| Физич. носитель | Электронный ресурс |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 12 назв. |
| Аннотация | Были получены многослойные AlN/BCN-покрытия нанометрового масштаба путем магнетронного распыления мишеней из Al и B[4]C в аргонно- азотной смеси при осаждении на подложку из Si. Эти покрытия характеризуются рентгеноаморфной структурой и имеют максимальную твердость по Кнупу (при плотности тока 100mA) 27 GPa. Расчеты, проведенные с помощью молекулярной динамики из первых принципов, показывают, что слой B4-BN является динамически нестабильным, следовательно, он не будет эпитаксиальным, а будет аморфным или будет иметь отличную от B4-BN-структуру. Термический отжиг проведенный в вакууме от 600 до 1000°C образцов с многослойными наноразмерными покрытиями приводит к уменьшению твердости по Кнупу до 18 GPa, однако структура покрытия остается рентгеноаморфной. |
| Ключевые слова | многослойные покрытия |
|
наноразмерные покрытия плотность тока механические свойства |
|
| Другие авторы | Иващенко, В. И. |
|
Ердыбаева, Н. К. Купчишин, А. И. Лисовенко, М. А. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 60, вып. 10. - С. 1986-1989 |
| Имя макрообъекта | Погребняк_микроструктура |
| Тип документа | b |
