| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/685184245 |
| Дата корректировки | 9:19:24 17 сентября 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2018.09.46392.014 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Мухортов, В. М. | |
|
Особенности эффекта поля в структуре металл-сегнетоэлектрик-полупроводник при использовании многослойных сегнетоэлектрических пленок с различными структурными типами Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 15 назв. |
| Аннотация | Показана возможность осаждения на легированный кремний пленочных сегнетоэлектрических структур Sr[0.5]Ba[0.5]Nb[2]O[6] + Ba[0.2]Sr[0.8]TiO[3] и Ba[0.8]Sr[0.2]TiO[3] + Ba[0.4]Sr[0.6]TiO[3] с низкой плотностью интерфейсных дефектов. Изучение пьезоотклика квазистатическим методом (площадь электрода 0.07mm{2}) показало, что в гетероструктурах имеет место изначальное поляризованное состояние сегнетоэлектрика с направлением спонтанной поляризации по нормали к подложке независимо от типа проводимости Si. Установлено, что это поляризованное состояние связано с двумерными напряжениями в сегнетоэлектрике, которыми можно управлять с помощью предварительно созданного на подложке подслоя Ba[x]Sr[1-x] TiO[3] и толщиной этого подслоя. Переключение поляризации в гетероструктурах Sr[0.5]Ba[0.5]Nb[2]O[6]/Si и Ba[0.8]Sr[0.2]TiO[3]/Si при внешнем полевом воздействии происходит только при использовании предварительно нанесенного на кремний подслоя титаната бария-стронция. Уменьшение на 15% величины переключаемой поляризации в структурах Ba[0.8]Sr[0.2]TiO[3]/Ba[0.4]Sr[0.6]TiO[3]/Si происходит в течение 500 h. |
| Ключевые слова | пленки |
|
многослойные пленки сегнетоэлектрические пленки гетероструктуры сегнетоэлектрики полупроводниковые подложки эффект поля |
|
| Другие авторы | Головко, Ю. И. |
|
Павленко, А. В. Стрюков, Д. В. Бирюков, С. В. Ковтун, А. П. Зинченко, С. П. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 60, вып. 9. - С. 1741-1747 |
| Имя макрообъекта | Мухортов_особенности |
| Тип документа | b |
