Поиск

Электронно-дифракционное изучение структуры эпитаксиального графена, выращенного методом термодеструкции 6H- и 4H-SiC (0001) в вакууме

Авторы: Котоусова, И. С. Лебедев, С. П. Лебедев, А. А. Булат, П. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/684863812
Дата корректировки 16:12:36 13 сентября 2021 г.
10.21883/FTT.2018.07.46131.016
Служба первич. каталог. Войтик
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 539.21
Котоусова, И. С.
Электронно-дифракционное изучение структуры эпитаксиального графена, выращенного методом термодеструкции 6H- и 4H-SiC (0001) в вакууме
Электронный ресурс
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 9 назв.
Аннотация Методом дифракции быстрых электронов на отражение (ДБЭО) проведено исследование структуры графеновых слоев, образованных на поверхности Si-грани проводящих и полуизолирующих подложек карбида кремния 6H- и 4H-SiC(0001) путем термодесорбции атомов Si в высоком вакууме, в зависимости от температуры и времени сублимации атомов Si и способа предобработки поверхности подложек. Регистрация дифракционных картин осуществлялась в кристаллографических направлениях подложек [1210] и [1100]. Установлено, что во всех проведенных экспериментах образование графеновых слоев происходит с разворотом кристаллической решетки графена на 30° относительно решетки SiC.
Ключевые слова графен
эпитаксиальный графен
пленки графена
карбид кремния
подложки карбида кремния
термодесорбция атомов кремния
электронно-дифракционное изучение
Другие авторы Лебедев, С. П.
Лебедев, А. А.
Булат, П. В.
Название источника Физика твердого тела
Место и дата издания 2018
Прочая информация Т. 60, вып. 7. - С. 1403-1408
Имя макрообъекта Котоусова_электронно-дифракционное
Тип документа b