Поиск

Распределение интенсивности трехволновой дифракции от дислокационных эпитаксиальных слоев в обратном пространстве

Авторы: Кютт, Р. Н.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/683635248
Дата корректировки 12:50:17 30 августа 2021 г.
10.21883/FTT.2018.04.45676.311
Служба первич. каталог. Войтик
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 539.21
Кютт, Р. Н.
Распределение интенсивности трехволновой дифракции от дислокационных эпитаксиальных слоев в обратном пространстве
Электронный ресурс
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил., табл.
Библиография Библиогр.: 11 назв.
Аннотация Экспериментально иссследована трехволновая дифракция рентгеновских лучей в сильнонарушенных эпитаксиальных слоях GaN и ZnO. Построены карты распределения интенсивности в обратном пространстве в координатах q[тета] и q[фи] для наиболее интенсивной трехволновой комбинации (1010)/(1011) путем последовательных тета и фи-сканирования. Обнаружена нетривиальная форма тета-сечений этих контуров вдали от фи-центра отражения, неодинаковая для разных образцов. Для тета-кривых в центре отражения наблюдается единый пик, аппроксимируемый функцией Войта со степенным спадом интенсивности на крыльях, при этом закон спаданий (-4.5 - -5.0) заметно больше, чем для аналогичнх кривых двухволновой дифракции, и не зависит от плотности и распределения дислокаций в слоях. В некоторых пленках имеет место крупноблочная структура, при этом из распределения в обратном пространстве следует, что эти блоки развернуты друг относительно друга вокруг нормали к поверхности, что заставляет предположить между ними малоугловые границы, состоящие исключительно из краевых дислокаций.
Ключевые слова пленки
эпитаксиальные слои
нитрид галлия
оксид цинка
обратное пространство
обратная решетка
дефектные структуры
дифракция рентгеновских лучей
Название источника Физика твердого тела
Место и дата издания 2018
Прочая информация Т. 60, вып. 4. - С. 691-695
Имя макрообъекта Кютт_распределение
Тип документа b