| Индекс УДК | 620.1/.2 |
|
Формирование сферических и древовидных частиц при росте алмаза химическим газофазным осаждением А. Н. Блаут-Блачев, А. А. Аверин, А. В. Шапагин, Б. В. Спицын |
|
| Аннотация | Предложена модель формирования сферических и древовидных частиц при выращивании алмазных пленок методом химического газофазного осаждения (CVD) с использованием для активации электрического разряда постоянного тока. Сферические частицы алмаза образуются при равенстве поверхностных энергий различных граней алмаза, которое возникает при росте с определенной температурой, зависящей от параметров газовой среды. Рост древовидных частиц создается движением заряженных частиц вдоль линий электрического поля. |
| Название источника | Физикохимия поверхности и защита материалов |
| Место и дата издания | 2021 |
| Прочая информация | Т. 57, № 4. - С. 432-435 |
