| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/683371335 |
| Дата корректировки | 9:32:41 27 августа 2021 г. |
| 10.21883/FTT.2018.04.45669.034 | |
| Служба первич. каталог. | Войтик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 539.21 |
| Денисова, К. Н. | |
|
Влияние легирования на свойства аморфного гидрогенизированного кремния, облученного фемтосекундными лазерными импульсами Электронный ресурс |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 30 назв. |
| Аннотация | Проведен сравнительный анализ влияния фемтосекундного лазерного облучения на структуру и проводимость нелегированного и легированного бором аморфного гидрогенизированного кремния. Было обнаружено, что процесс образования нанокристаллов в аморфной матрице под действием фемтосекундного лазерного облучения для нелегированных образцов аморфного гидрогенизированного кремния начинается при меньших плотностях энергии лазерного излучения, чем для легированных образцов. Различная проводимость нелегированных и легированных образцов аморфного гидрогенизированного кремния до их фемтосекундного облучения становится примерно одинаковой при облучении с плотностями энергии 150-160 mJ/cm{2}. |
| Ключевые слова | кремний |
|
аморфный гидрогенизированный кремний легирование бором фемтосекундное лазерное облучение проводимость |
|
| Другие авторы | Ильин, А. С. |
|
Мартышов, М. Н. Воронцов, А. С. |
|
| Название источника | Физика твердого тела |
| Место и дата издания | 2018 |
| Прочая информация | Т. 60, вып. 4. - С. 637-640 |
| Имя макрообъекта | Денисова_влияние |
| Тип документа | b |
