Поиск

Кристаллизация слоев в гетероструктурах PZT/LNO/Si

Авторы: Атанова, А. В. Жигалина, О. М. Хмеленин, Д. Н. Серегин, Д. С. Воротилов, К. А.
Подробная информация
Индекс УДК 539.21
Кристаллизация слоев в гетероструктурах PZT/LNO/Si
Электронный ресурс
Аннотация Методами просвечивающей электронной микроскопии исследована микроструктура слоев композиции Pb(Zr[0.52]Ti[0.48])O[3]-LaNiO[3]-Si и тонких пленок LaNiO[3], полученных методом химического осаждения из растворов. Выявлено, что поликристаллическая, пористая структура LaNiO[3] приводит к нарушению столбчатости структуры цирконата-титаната свинца. Рассмотрено влияние термической обработки на структуру и фазовый состав никелата лантана. Показано, что такие морфологические особенности структуры пленки LaNiO[3], как слоистость, пористость и разориентированность, наблюдаются при отжиге с температурой 550°С и усугубляется при повышении до 800°С.
Ключевые слова пленки
Другие авторы Жигалина, О. М.
Название источника Физика твердого тела
Место и дата издания 2019
Прочая информация Т. 61, вып. 12. - С. 2442-2445
Имя макрообъекта Атанова_кристаллизация